理论上陶瓷坩埚的尺寸可以无限制的扩大,仅受限于实际应用中铸锭炉的尺寸限制。硅锭越大,产品的质量越好。影响硅锭质量的缺陷和杂质都会趋向于硅锭的边缘。一个大尺寸的硅锭能制造出更多更有用,质量更好的产品,得材率更高。因此,国际趋势就是倾向于生产更大尺寸的硅锭。石英坩埚的大尺寸为32”(784mm)。
目前,国内铸造多晶硅的重量普遍为400~450kg,尺寸为880mm×880mm×400mm。
陶瓷坩埚与石英坩埚的在多晶硅的应用主要区别是其热性能的不同。某些热性能二者差别不大,如,线膨胀系数:陶瓷坩埚和石英玻璃坩埚的线膨胀系数相差很少,线膨胀系数都非常低为0.6x10-6/℃,接近零膨胀;
抗热振性:陶瓷坩埚和石英玻璃坩埚具有极低的线膨胀系数,故都有非常好的抗热振性能。试样在加热到1000℃再投入20℃水中不会炸裂。通常用经多次加热淬水直到破碎的次数来衡量其抗热震能力。其主要区别是软化温度和失透。
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